Effets de l’ajout de Si sur la stabilité thermique des revêtements

La stabilité des revêtements en nanocomposants de carbone dur amorphe dopés au Si et des revêtements DLC non dopés quand ils sont recuits à des températures croissantes, de la RT jusqu’à 700°C, sous atmosphère protectrice (Ar/H2) et oxydante (N2/O2) diffère. La caractérisation vise à comprendre la transformation structurelle en comparant le processus de déshydrogénation et de graphitisation dans les deux types d’atmosphère. 

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