CEMLAB : Système d’évaporation de précurseurs organométalliques pour les laboratoires
Afin de pouvoir améliorer les revêtements de nanocomposites, plusieurs techniques de dépôt de couches minces comme le PECVD, l’OMCVD, la CVD thermique ou encore les systèmes de pulvérisation cathodique sont utilisés pour réaliser cette opération. Que le réacteur soit sous vide, sous haute température ou en condition ambiante, la question se pose de générer aisément et précisément les précurseurs organométalliques.
Pour répondre à cette application, la société BRONKHORST propose un système d’évaporation de précurseurs équipé de 4 éléments principaux :
- un écran tactile,
- un régulateur de débit de gaz (MFC),
- un régulateur de micro-débit de liquide,
- une chambre d’évaporation et de mélange appelée CEM.
La technologie CEM (Controlled Evaporation and Mixing) éprouvée et embarquée dans cet équipement permet de contrôler et de diffuser quelques sccm de précurseur au sein du procédé de manière précise, rapide et répétable.
L’interface intuitive en façade du CEMLAB est simple d’utilisation grâce à la gestion de consigne du débit de mélange gazeux et la concentration du composé dans le flux de gaz vecteur.
De plus, il est possible de piloter le système d’évaporation à distance à l’aide d’un PC.
